通快选择ClassOne的Solstice S4湿处理系统

产经 2021-01-26 17:45:23

半导体设备制造商ClassOne科技宣布出售其冬至®S4全自动湿处理系统的世界领先的VCSEL激光器制造商之一,TRUMPF光子元件。新冬至S4将在TRUMPF光子器件设备安装乌尔姆,德国。该公告是由ClassOne首席执行官Byron Exarcos和单元过程开发小组的TRUMPF经理Matthias Lessel博士共同宣布的。

Lessel博士说:“我们正在实施新技术,Solstice S4将有助于提高我们的过程自动化水平。”“ ClassOne组织一直非常支持我们帮助我们完成进度表。最重要的是,在我们的新工艺开发中,我们已经在Solstice上看到了非常良好的初步成果。”

Exarcos说:“通快是领先的制造商,他们正在砷化镓上制造非常先进的VCSEL和光电二极管。”“我们的Solstice S4将帮助使这些设备的某些湿法蚀刻工艺自动化。S4可以具有多达四个腔室;对于TRUMPF,该工具已配置有特殊的喷蚀和旋转冲洗干燥腔室Solstice还可以在三种不同尺寸的基板之间快速便捷地切换,这对于提高生产率是非常重要的功能。”

ClassOne解释说,Solstice平台是专门为≤200mm晶圆用户设计的,并在其配置中提供了很大的模块化灵活性。根据处理室的选择,Solstice工具可用于电化学电镀以及一系列湿化学表面处理工艺,例如高压金属剥离,抗蚀剂剥离,UBM蚀刻等。除了四腔全自动S4,ClassOne的Solstice产品线还包括用于自动化大批量生产的八腔Solstice S8和用于工艺开发或小批量生产的双腔半自动Solstice LT。

郑重声明:本文版权归原作者所有,转载文章仅为传播更多信息之目的,如作者信息标记有误,请第一时候联系我们修改或删除,多谢